乙醇钽
化学式：Ta(OC₂H₅)₅CAS No：6074 - 84 - 6外观：透明或黄色液体或低熔点固体 ，可能有一定黏性纯度：99.99%用途：作为前驱体用于化学气相沉积（CVD）技术，制备含钽的薄膜材料，应用于微电子器件制造 等领域。分子结构式图片：
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化学式: Ta(OC₂H₅)₅
CAS号: 6074-84-6
外 观: 透明或黄色液体或低熔点固体，可能有一定黏性纯度:99.99%
用 途: 作为前驱体用于化学气相沉积(CVD)技术，制备含担的薄膜材料，应用于微电子器件制造等领域。
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