本文全文转载自百度，阅读原文，请点击：https://baijiahao.baidu.com/s?id=1832458136184423262&source=ucbrowser2025年5月17日，全球最大半导体设备商泛林集团（Lam ···

为什么半导体工艺需要新材料？ 随着芯片制程进入2nm时代（相当于头发丝的万分之一粗细），传统金属导线材料——钨（W）和铜（Cu）遇到了致命瓶颈： • 钨：沉积时会释放氟（···

2025年12月27日，第十四届全国人大常委会第十九次会议审议通过了《中华人民共和国危险化学品安全法》（以下简称《危险化学品安全法》），将于2026年5月1日起施行。这是我国···

书接上篇（http://www.cnyjxc.com/list_11/138.html）近期两篇由相近作者团队发表的论文，分别发表于Journal of Materials Chemistry C和Chemistry of Materials，展示了以···

近期两篇由相近作者团队发表的论文，分别发表于Journal of Materials Chemistry C和Chemistry of Materials，展示了以五氯化铌（NbCl5）为关键试剂的两种气相刻蚀策略。它们···