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(下篇)用 NbCl5 实现从氧化物到金属的可控气相刻蚀——两项工作揭示了原子层与脉冲蚀刻的新路径

(下篇)用 NbCl5 实现从氧化物到金属的可控气相刻蚀——两项工作揭示了原子层与脉冲蚀刻的新路径

书接上篇(http://www.cnyjxc.com/list_11/138.html)近期两篇由相近作者团队发表的论文,分别发表于Journal of Materials Chemistry C和Chemistry of Materials,展示了以···
2025-12-0557
(上篇)用 NbCl5 实现从氧化物到金属的可控气相刻蚀——两项工作揭示了原子层与脉冲蚀刻的新路径

(上篇)用 NbCl5 实现从氧化物到金属的可控气相刻蚀——两项工作揭示了原子层与脉冲蚀刻的新路径

近期两篇由相近作者团队发表的论文,分别发表于Journal of Materials Chemistry C和Chemistry of Materials,展示了以五氯化铌(NbCl5)为关键试剂的两种气相刻蚀策略。它们···
2025-12-0263
【聚焦】电子级四氯化铪市场空间不断增大 我国产能规模还在扩大

【聚焦】电子级四氯化铪市场空间不断增大 我国产能规模还在扩大

电子级四氯化铪能够满足芯片工艺制程不断缩小的发展趋势要求,市场空间正在不断增大。电子级四氯化铪,是指纯度达到99.95%及以上的高纯度四氯化铪。四氯化铪,分子式HfCl4,···
2026-03-0618
TaCl5作为前驱体的激光沉积法:快速制备孔状TaC涂层并改善热兼容性

TaCl5作为前驱体的激光沉积法:快速制备孔状TaC涂层并改善热兼容性

碳基材料在高温极端环境中的应用长期受限于氧化与热冲击失效。来自武汉理工大学及合作者的研究团队近日报道了一种基于激光化学气相沉积(LCVD)的高效制备工艺,能在石墨基···
2025-11-1340
强化安全管理,筑牢发展根基 —— 奕嘉新材积极参与湘潭市危险化学品安全管理专题培训

强化安全管理,筑牢发展根基 —— 奕嘉新材积极参与湘潭市危险化学品安全管理专题培训

参训团队聚焦五氯化钽、五氯化铌、五氯化钼、四氯化铪等氯化物的生产车间、产品储存区等实际场景进行了讨论,真正实现 “学思用结合、知信行统一”。
2025-10-2665
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